l产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵形成一定程度的真空度（100P），受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体。这些等离子体的活性很高，其能量几乎能破坏所有的化学键，在任何暴露的表面形成化学反应，让污物产生灰化的效果，从而达到清洗的目的。
l等离子清洗技术现在正应用于LCD、LED、IC、PCB、SMT、BGA、引线框架、平板显示器等领域。
l等离子清洗过的IC可显著提高焊线绑定强度，减少线路故障的可能性。溢出的树脂、残余感光阻剂、溶液残留及其他有机污染物暴露于等离子体区域中，短时间内就能清除。
进口不锈钢304真空舱，规格：W480mm×H500mm×L500mm；舱体容量: 120L，处理气体: 2气路，SMC控制阀门，射频电源: 13.56MHz；真空泵: 抽速4m3/h；托盘: 五个�？捎糜谇逑础⒖淌础⒒罨捅砻孀急傅取？裳≡�40KHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器，以适应不同清洗效率和清洗效果需要。